关于离子氮化
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- 关于离子氮化一.离子氮化的基本工艺过程:
1.阴极溅射原理:(1).离子渗氮炉零件为阴极,炉壳为阳极,氨在一定真空度下(1.3*102—103Pa)和一定的极间电压作用下产生电离。在辉光放电的高压电场作用下,氨被电离成氮正离子.氢正离子及电子,正离子被电场加速轰击表面,一部分转变成热能加热零件,另一部分使离子直接渗入零件或产生阴极溅射。(2).被轰击出来的铁原子和得到电子的氮原子化合成FeN并被吸附在零件表面,在高温和继续离子轰击作用下,FeN转变成低价的Fe2N Fe2-3N Fe4N α-Fe(N)等。氮化铁有什么性质?氮化表面的氮化物对材料性能有什么影响?还会生成其他的一些氮化物吗?
2.溅射:离子轰击产生表面原子溅射,并形成薄(0.05mm)的位错层,促进氮原子扩散,改变了氮原子在表面的吸收,离子溅射作用使工件表面得到净化。
3.吸附:在分解成为含氮低的化合物同时,放出活性氮,一部分向零件内部扩散,形成氮化层,另一部分返回重新参加反应,并提高零件表面的氮势,被溅射的铁原子成为有力的“氮载体”.并吸附在零件表面。
4.辉光层:炉气氛中的受激原子恢复基态或电子结合成中性的原子时,发出辉光,形成几毫米厚的辉光层包围零件,氢的辉光呈淡蓝色.氮呈紫色.氨呈紫蓝色。
二.离子渗氮的工艺操作及注意事项:
1.同炉处理的工件应为同种或表面积和质量之比接近的工件。工件至阳极的距离应大致相等,并大于30mm。工件之间应有足够大的距离并要求均匀,在工件偏低位置放置辅助阴极或辅助阳极,安放试样时应考虑温度,尽量和工件一致。...