微细电化学加工机床结构设计
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- )随着越来越多的微细结构出现在工业应用中，微细加工的研究得到越来越广泛的重视。近几年来由于许多其它领域的新技术、新工艺的引入以及对电解加工过程机理的更深入研究，电解加工一改原来加工精度不高的特点，被应用于高精度微细结构的加工中，在微细电解技术方面的研究也迅速发展起来[1-2]。电解加工是利用金属在电解液中可以发生阳极溶解的原理，将零件加工成形的，其材料的减少过程以离子的形式进行[3]。由于金属离子的尺寸非常微小，所以这种微溶解去除方式使得电解加工技术在微细制造领域有着很大的发展潜力。研究微细电解加工技术，并研制开发相应的微细电解加工系统具有重要的现实意义[4]。
1.2 研究意义
随着微纳米技术的不断发展，微细加工技术作为实现其应用的关键技术和重要基础，得到了的广泛关注。电解加工作为一种基于阳极溶解的减材技术，在其加工过程中，阳极上的金属原子不断地失去电子成为离子而从工件上溶解，其材料的减少过程以离子的形式进行[5]。由于金属离子的尺寸非常微小，因此这种微溶解去除方式使得电解加工技术在微细制造领域有着很大的发展潜力和应用前景[6]。近些年来微细电解加工技术成为国内外微细加工领域中新的研究热点，并在加工精度和加工尺度上取得一些突破性进展但是，目前还存在加工效率低、无法加工深孔和窄缝等局限性，实用性尚不够。研究经济、高效、实用的微细电解加工机床是本文研究的主要内容。精密电解加工技术，电解加工中由于影响间隙电场和流场稳定性的参数很多，控制比较困难，再加上加工时的杂散腐蚀，使得电解加工不易达到较高的加工精度[7-10]。
由于到目前为止国内外对微细电解加工的研究还基本处于起步阶段，没有系列化、实用化的微细电解加工机床设备真正面市，但微细加工技术是当今世界...
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