ST2253型数字式四探针测试仪技术参数
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- ST2253型数字式四探针测试仪技术参数ST2253 型数字式四探针电阻率/方阻测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可以测量半导体材料的电阻率，测量半导体扩散层、半导体或金属或有机薄膜涂层的薄层电阻（亦称方阻）。换上特制的四探针测试夹具，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。
仪器由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果由主机数码管直接显示。也可通过USB端口连接PC机，由配套软件在PC机上操作，其数据可由软件显示、分析、保存和打印！
主机主要由精密恒流源，高分辨率 ADC、嵌入式单片机系统组成，轻触按键操作，自动/手动一体化。测试探头可采用高耐磨碳化钨探针制成，也可选择薄膜方阻专用测试探头。故适用范围广、定位准确、游移率小、寿命长。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、使用方便等特点。
仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。
三、基本技术参数
3.1测量范围
电阻率： 1×10-4～2×105Ω-cm。
方块电阻： 1×10-3～2×105Ω/□。
电 阻： 1×10-4～2×105Ω。
3.2可测半导体材料尺寸（SZT-C型测试台参数）
测试台方式：直 径： Φ15～180mm, 或矩形180mmX180mm以下，高度： ≤100mm。
手持探头方式：不限。
2.3测量方位:
轴向、径向均可
2.4. 4 1/2 位数字电压表：
⑴量程： 200mV
⑵误差：±0.1%读数±2 字
2.5数控恒流源
⑴电流输出：直流电流 0～100mA 连续可调，由交流电源供电。
⑵量程：1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
⑶误差：±0.5%读数±2 字
2.6四探针测试探头（ST2253-F01型探头）
⑴探针间距 1mm
(2)探针压力: 0～2kg 可调,最大压力约 2kg
(3)探针：碳化钨，Φ0.5mm
2.7.电源
输入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<20W
2.8.外形尺寸：
主机 260mm（长）×210 mm（宽）×125mm（高）
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