多晶硅铸锭技术
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- 多晶硅铸锭技术 多晶硅铸锭
多晶硅铸锭是将多晶硅原料通过铸锭工艺处理制成可以用于制备太阳电池的多晶硅锭。相对于单晶硅的生产,具有成本低、生长速度快及单锭尺寸大的优点。2003年10月国内第一条铸锭线在英利集团公司建成。
1.原料和辅料
多晶硅铸锭是将多晶硅原料通过工艺处理制成可以用于制备太阳电池的多晶硅锭。多晶硅锭的主要原料和辅材有硅料、石英坩埚、氮化硅粉等。
原硅料主要是棒状多晶硅和粒状多晶硅,纯度一般大于7n以上。硅料生产厂家国际上包括美国电子材料公司、德国瓦克公司等,国内包括四川新光硅业科技有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、六九硅业有限公司等。现阶段国内硅料质量基本满足多晶硅生产要求,且技术水平在不断完善提高,工艺方法主要以改良西门子法为主,六九硅业有限公司的新硅烷法也在逐渐占有一定市场份额。
石英坩埚是多晶硅铸锭及单晶生长中的主要耗材,它是确保硅料熔化、结晶生长的反应容器。
氮化硅粉的作用是喷涂到多晶铸锭石英坩埚的内壁,起到阻挡坩埚中的杂质进入硅锭中及防止硅锭和坩埚粘连的作用。氮化硅粉主要生产厂家有日本的ube公司、德国的拜耳公司等。
2.设备性能
目前我国引进最多的是gt solar的铸锭炉。现在gt solar的铸锭炉已从早期的160kg级发展到了现在的450kg级。其设备特点是自动化程度高,操作简单;标准模块,易于安装;单台铸锭炉年产能约6.4mw;硅锭尺寸为840mm×840
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