LED厂房的消防设计
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- 2、MOCVD设备自身采取的安全措施（设备安装说明书、操作指南等）；
XXXX科技有限公司入住XXX技术开发区的《LED芯片生产项目》中，LED外延片生产使用MOCVD设备。该设备用NH3、H2、N2气体作为原材料。
MOCVD设备是用来生长半导体材料的重要设备，气体通道都使用高质量的不锈钢材料制成，管道全部采用焊接或VCR方式连接，以确保管道和腔体具有相当良好的气密性，气体泄漏的可能性极小；同时，MOCVD在现场安装时实施严格的气密性检查，确保设备系统的气密性能。不仅如此，MOCVD设备本身还设有氢气、氨气、氧气等检测装置，在设备运行的过程中，一旦检测到氢气、氨气泄漏，管道阀门自动关闭，并自动停止MOCVD设备工作。
此外，本公司使用的MOCVD设备的反应腔也采用了特殊的结构，反应工作室的外形尺寸650mm长×450mm宽×450mm高，但其使用氢气的内部腔体的宽度仅为150mm、高度不足20mm， 内部腔体中的气体处于常压工作状态，使MOCVD设备中的气体处于最小量，同时内部腔体外与反应工作室内壁之间充有氮气保护，进一步提高了设备的安全性。
由于在设备的构造方面采取...
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