平板型直线电机无磁吸力、无齿槽效应，运动平滑，适合超精密场景1。
推力密度通常为0.5-2.5kN/㎡，定位精度可达±0.1μm，最大速度常高于5m/s，加速度可达20G以上1。
应用场景：广泛应用于半导体光刻机、液晶面板搬运与检测、高端数控机床、精密测量仪器等对高速、高精度有要求的领域
推力密度通常为0.5-2.5kN/㎡，定位精度可达±0.1μm，最大速度常高于5m/s，加速度可达20G以上1。
应用场景：广泛应用于半导体光刻机、液晶面板搬运与检测、高端数控机床、精密测量仪器等对高速、高精度有要求的领域
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