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电子真空泵
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电子真空泵是用采用压电材料作动力装置(完全抛弃电动机驱动模式),从控制到驱动彻底实现电子化,以电子集成系统完全控制气体的交换与传输,从而实现气体传输的可调性、精准性。...
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